韓媒報道,全球第一光刻膠大廠日本JSR計劃將在韓國青州建立一條生產(chan) 用於(yu) ArF的光刻膠產(chan) 線,用於(yu) 供貨三星電子。
日本JSR公司是全球最大的光刻膠生產(chan) 廠商,占全球市場24%份額。由於(yu) 日本的出口管製政策,韓國半導體(ti) 產(chan) 業(ye) ,特別是三星電子在努力推動半導體(ti) 原材料的本地化及供應量的多樣性、穩定性,JSR自然不願失去這一巨大的市場,因此推動在韓國本地建立產(chan) 線,規避出口限令。
ArF光刻是存儲(chu) 設備生產(chan) 的主要手段,光刻膠是生產(chan) 過程中不可缺少的材料,目前ArF光刻膠不受日本出口限令的限製,業(ye) 內(nei) 人士預計其主要目標是生產(chan) 受出口限製的EUV光刻膠。
業(ye) 內(nei) 人士表示,日本JSR的投資計劃已經與(yu) 三星電子共享,但是還未下達最終決(jue) 策。