氮化镓(GaN)技術也取得重要進展
山東大學新一代半導體材料研究院崔鵬、韓吉勝教授團隊研發出具有晶態氮化矽(SiN)帽層的新型 GaN 高電子遷移率晶體管(HEMT)。與傳統器件相比,該器件飽和電流提升 41%,擊穿電壓提升 30%。團隊通過原位生長技術,首次在 AlGaN 勢壘層上生長出 2nm 晶態 SiN 帽層,降低了界麵態密度,有效抑製尖峰電場分布,簡化了工藝流程並節約成本,在 GaN 功率開關和高功率微波領域具有重要應用潛力。
這些技術突破表明,半導體功率器件正朝著高性能、高可靠性方向加速發展,將有力推動新能源汽車、航天、通信等多個行業的技術升級與產業變革。隨著研發的持續投入和產業鏈的協同創新,功率器件技術有望在未來取得更多突破,為全球科技發展提供強大支撐
http://dpt.sdu.edu.cn/info/1037/3395.htm